真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

1、引言

主要應(yīng)用于大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中的薄膜形成。本機(jī)利用高速旋轉(zhuǎn)使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面

2、主要技術(shù)指標(biāo)

電源：AC220V 50Hz

功率：200W

旋轉(zhuǎn)盤：?200mm

轉(zhuǎn)速：500rpm-6000rpm

時(shí)間：1s-60s

真空泵流速：>60L/min

尺寸：500mm×400mm×400mm

重量：30kg

我公司專業(yè)生產(chǎn)銷售：洛式硬度計(jì)，維式硬度計(jì)，布氏硬度計(jì)，顯微維氏硬度計(jì)，便攜式硬度計(jì)，磁力式洛式硬度計(jì)，里氏硬度計(jì)，超聲波硬度計(jì)，金相切割機(jī)，全自動(dòng)金相試樣切割機(jī)，金相磨拋機(jī)，金相預(yù)磨機(jī)，金相拋光機(jī)，全自動(dòng)金相試樣磨拋機(jī)，手動(dòng)金相試樣鑲嵌機(jī)，全自動(dòng)金相鑲嵌機(jī)。金相拋光劑，金相拋光粉，金相砂紙，金相拋光布，金相切割片，冷鑲嵌樹脂，金相鑲嵌粉，導(dǎo)電鑲嵌粉，透明鑲嵌粉，倒置金相顯微鏡，正置金相顯微鏡，進(jìn)口金相顯微鏡，體視顯微鏡，視頻顯微鏡，生物顯微鏡，熒光顯微鏡，手動(dòng)影像測(cè)量儀，全自動(dòng)影像測(cè)量儀，一鍵閃測(cè)儀，測(cè)量投影儀。粗糙度儀，輪廓儀，圓柱度儀

一、設(shè)備定義與工作原理

1. 基本定義
   真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一種在真空或惰性氣體環(huán)境中，通過旋轉(zhuǎn)基材實(shí)現(xiàn)均勻涂層的設(shè)備。其核心功能是解決常規(guī)涂膜無法處理的材料氧化、揮發(fā)或均勻性問題

2. 工作原理

• 真空吸附固定：樣品通過真空吸盤固定在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，避免偏心震動(dòng)

• 分段程序控制：設(shè)備支持多段轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)（通常6-16段程序），每段可獨(dú)立設(shè)置轉(zhuǎn)速（500-20,000rpm）、加速率（100-6,000rpm/s）及時(shí)間（0-999s），實(shí)現(xiàn)從低速注膠到高速勻膠的過渡

• 濺射涂覆：在真空環(huán)境下，靶材材料被濺射到旋轉(zhuǎn)基材表面，形成均勻薄膜

二、核心結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點(diǎn)

1. 關(guān)鍵組件
   | 組件 | 功能說明 |
   |------------------|----------------------------------------------------------------------------|
   | 真空腔體 | 聚丙烯或聚四氟乙烯材質(zhì)，耐強(qiáng)酸/強(qiáng)堿腐蝕（如VTC-100PA型號(hào)）
   | 直流無刷電機(jī) | 提供無級(jí)調(diào)速，噪音低、啟停平穩(wěn)，確保涂層厚度一致性
   | 無油真空泵 | 避免油污污染，抽氣流量≥60L/min，真空度達(dá)-0.08MPa或1Torr
   | 多規(guī)格吸盤 | 適配φ19mm至φ203.5mm樣品，支持快速更換

2. 智能控制與安全設(shè)計(jì)

• 觸摸屏/液晶控制：支持中英文界面，可存儲(chǔ)12-16組程序（如VTC-100PAH）

• 開蓋保護(hù)：運(yùn)行中開蓋自動(dòng)減速停機(jī)，防止意外

• 惰性氣體兼容：可在Ar、N?等氣氛中操作，保護(hù)敏感材料

三、核心應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體與光學(xué)器件

• 晶圓光刻膠涂覆、光盤表面鍍膜（如VTC-200PV型號(hào)）

• 防止氧化材料（如鈣鈦礦）的薄膜制備

2. 材料研究與特殊場(chǎng)景

• 強(qiáng)酸/堿溶液涂膜（如瀝青混合料測(cè)試）

• 高溫涂膜需求：可選配加熱功能（RT-200℃）

3. 科研與質(zhì)量控制

• 高校及研究所的薄膜生成實(shí)驗(yàn)（如VTC-100系列）

• 工業(yè)領(lǐng)域的小批量生產(chǎn)質(zhì)量控制

四、選型要點(diǎn)參考

| 參數(shù) | 典型范圍 | 選型建議 |
|------------------|--------------------------|-------------------------------------------|
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 500-20,000rpm | 高精度實(shí)驗(yàn)選＞10,000rpm型號(hào)（如VTC-100PAH）
| 程序段數(shù) | 6-16段 | 復(fù)雜工藝需多段控制
| 真空度 | -0.08MPa至1Torr | 高揮發(fā)材料需更高真空
| 耐腐蝕性 | 聚丙烯/聚四氟乙烯腔體 | 強(qiáng)酸/堿環(huán)境必選|

五、典型型號(hào)對(duì)比

| 型號(hào) | 轉(zhuǎn)速(rpm) | 程序段數(shù) | 特殊功能 | 適用場(chǎng)景 |
|----------------|-------------|------------|--------------------------------|--------------------------|
| VTC-100PA | 500-10,000 | 6段×12組 | 耐強(qiáng)酸/堿腔體 | 常規(guī)實(shí)驗(yàn)室涂膜
| VTC-200PV | 500-6,000 | 6段×12組 | 真空/惰性氣體雙模式 | 易氧化材料
| VTC-100PAH | 1,500-20,000| 16段 | 7寸觸控屏，高溫選項(xiàng)（RT-200℃）| 科研